Специалисты исследовательского подразделения компании IBM продемонстрировали новую технологию в действии.
С ее помощью они выполнили объемную карту Земли размерами 22×11 мкм и модель горы Маттерхорн (реальная высота — 4478 м) высотой 25 мкм. При этом на создание моделей ушло менее трех минут. В качестве рабочего инструмента использовался кремниевый щуп (подобные используются в сканирующих атомно-силовых микроскопах).Длина щупа составила 500 нм, а размер острия – всего несколько нанометров. Щуп был закреплен на гибкой консоли, позволяющей сканировать поверхности с точностью до 1 нм. Установка работала по принципу фрезерного станка.
За счет модуляции нагрева и механического усилия, щуп слой за слоем откалывал ненужные частички подложки, гравируя ее поверхность. Специалисты IBM заявили, что точность разрешения такой гравировки на данный момент составляет 15 нм. По сведениям сайта ixbt.com, данный метод превосходит существующую технологию электроннолучевой литографии по скорости, разрешению (по этому параметру – примерно в два раза) и по экономичности. Он может использоваться для формирования объемных структур при изготовлении прототипов электронных схем, а также для выполнения шаблонов для самосборки наноструктур и изготовления оптических компонентов.
